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我国电子专用设备行业主要单位发展情况统计（见表1）。从表中看出，在90年，从事此项目的技术人员为8200人，实现总产值为79.746万元，总产值是90年的近3倍。到98年从业技术人员为6686人，总产值达237，429万元，到99年，从业人员减至7061人，而实现总产值达257，000，比98年又增长8％，从这一组数据看出：我国电子专用设备的确有很大的市场潜力。
表1 90年代我国电子专用设备主要单位发展情况
年度\项目 1990年 1998年 1999年 99年比98年增长
主单位（个） 90 83 85 --
职工总数（人） 63900 52031 48133 --
技术人员（人） 8200 6686 7061 --
总产值（万元） 79746 237429 257000 8％
销售收入（万元） 67058 193095 206000 6.7％
利税总额（万元） 7029 17512 22000 25％
出口创汇（万美元） 958 2424 2609 7.6％
固定资产原值（万元） 94561 283099 299517 5．8％
固定资产净值（万元） 59446 181666 199309 9.7％
（三）部分国产电子专用设备产品发展情况举例
1、半导体及集成电路设备方面 RHT系列半导体快速热处理设备，此设备由清华大学华兴公司生产。具有中国、美国的多项专利，曾获国家发明二等奖和中国专利金奖，1997年通过了欧共体市场的CE认证。现在，公司已生产出30多台设备，为国家节汇800多万美元，并有出口。
扩散设备。此设备由北京700厂、信息产业部电子48所、青岛元专厂等单位生产。扩散设备累计产量已达近5000管，其中700厂在91~99年间就生产了近100台，300多管，产值5000万元，节汇1500万美元，该厂99年与国外竞标成功的一台全自动推拉扩散设备其价值250万元。
离子注入设备。此设备由信息产业部电子48所生产，产量达40多台，为国家节汇4000万美元。 单晶炉。此设备由西安理工大学工厂、浙江大学机械厂等单位生产。其中西安理工大学工厂已累计生产各种型号设备1000台左右，其中TDR-62型5``单晶炉已生产80台左右，为国家节汇1500万美元，同时8``单晶炉也已推出。
切片机。由信息产业部电子45所、陕西709厂、上海汇盛公司等单位生产。其中信息产业部电子45所已生产出用于半导体及其领域的6个系列11种型号切片机600余台，为国家节汇6500万美元以上。
硅片研磨、抛光设备。由兰新通讯设备集团公司生产。该公司已有两大系列14种机型产品，已销售1000台，用户400余家，曾出口美、日、罗、新、泰、港等国家和地区。
硅片处理系统（匀胶、显影）。由陕西709厂生产。至今已生产55条线，为国家节汇440万美元。
2、净化设备方面
苏州净化设备厂等单位生产的0.1微米、10级以下水平的空气净化工程及设备已经提供市场，该厂生产的超纯水设备已扩展到半导体以外的广大领域，用户已达100多家。
3、彩管及玻壳生产设备方面
现在，我国已形成一支由北京700厂、成都708厂、陕西709厂、贵州4506厂、天津4508厂等30多家单位组成的彩管、彩玻设备生产队伍。全国许多彩管、彩玻厂都使用了国产设备，平均每年为国家节汇上亿美元。目前我国29``以下的彩管、彩玻生产线中大部分设备可立足国内。北京700厂为深圳赛格日立公司生产的34``超平彩管生产线设备，发运时使用了67节车皮和13辆汽车，目前已开始正常 使用。
4、真空开关管生产设备方面
北京700厂生产的主要设备如高温氢气炉、真空钎焊炉、中温氢气炉、多工位排气台、双真空排气台、一次封排炉都已投入生产（一次封排炉进口需30~50万美元，国内生产的设备仅售150-180万元，现已售出10余台，收入2000万元，可节汇400万美元），全自动产品已陆续问市。我国主要真空开关管厂普遍使用了国产设备，下一步将陆续开发无油型设备。
5、磁性材料生产设备方面
国内目前有信息产业部电子48所，中磁公司、南通电子专用设备厂、海方三强公司、北京机电院、泰州三专、898厂、无锡昂益达干燥设备厂、无锡超声设备厂、萍乡无专厂、西部集团公司、信息产业部9所锡山市日新电子专用设备厂等十几个生产单位生产。软磁铁氧体、永磁铁氧体等生产线设备的国产市场占有率目前已大于90％，16T干压机等已开始出口，磁性材料设备至今已锁9000台左右，锁售额累计近12亿元。1999年共锁售1418台，1.6亿元（其中：窑炉64台，6475万元；压机412台，5856元；切磨设备733台，2067万元；粉料制备设备131台，1219万元；其它设备78台，395万元）。
6、阻容件方面
由肇庆宝华公司，信息产业部电子45所等单位研制的片式电阻，片式多层陶瓷电容器、片式钽电解电容器的部分设备已经投入使用。上海希再公司生产的金属化薄膜电容器生产线设备可配套提供，已有部分产品出口，并已建立了示范生产线，该公司研制的测试频率为100KC的测试分选机和小型卷绕机也已推出。此外，北京706厂等单位的传统阻容元件设备仍在不断向用户提货。
7、电池设备方面
LR6（200只/分）、LR03（150只/分）碱性电池自动生产线和扣式锂（Li/MnO2）电池自动组装生产线（20-40只/分）已投入使用，用于镍氢电池和锂离子电池生产的部分设备也已投入使用。象北京706厂的轧膜设备、杭州可靠性仪器厂生产的锂离子电池高温化成设备等。
8、整机装联设备
在整机装联设备方面，目前国内技术水平同国外相比差距较大，自动巾片机尚没有商品化机型，但肇广大风华公司、熊猫集团公司、深圳日东公司等单位正在努力进入这一领域，预计在不远的将来，国产化工作将会有较大突破。中低档再流焊机、波峰焊机、丝网印刷机以及在线测试仪等已有产品供应，如北京星河公司生产的在线测试仪去年就锁售100多台，许多大公司都已采用了他们的产品。此外，还有整机自动装配流水线和零件加工成型设备。
9、试验设备
目前，气候环境试验发展较快，已占有比较大的市场份额，其中仅广州爱斯佩克销售收入就在4000万元/年。力学环境试验设备主要由陕西709厂、苏州试验仪器厂等生产，产品可满足GJB、GB、IEC、MIL标准，但尚未形成完整系列。另外，随机振动方法的应用，在我国刚刚起步，气候和力学环境综合试验设备、数字控制系统的应用尚有待提高。
10、电子工模具
冲模、塑封模等均有不同程度进展，其中硬质合金级进冲模的位置精度、合成累坟误差，几何形状误差均已≤5μm，级进步数≥30步，总寿命>1亿次，由于采用CAD手段，设计周期明显缩短。铜三佳公司为适应SMT集成电路引脚成型技术的需要而开发的自动发成型模具，由五付自动冲切成型模和一付切盘模组成，互相关联，由一套送料机在一台冲切机上完成连续动作，定位精度≤0.02，送料步距精度≤0.005，合模导向精度达0.003.
11、超小型继电器组装生产线设备
陕西709厂研制开发的超小型通用继电器组装生产线，由9台单机，三条传送带组成，该套设备约为200万元/套，而从国外引进则需600-1000万元。 |
