5. 蚀刻液的再生

再生的原理主要是利用氧化剂将溶液中的Cu¹⁺氧化成Cu²⁺。再生方法一般有以下几种。

通氧气或压缩空气再生

主要的再生反应为：2Cu₂Cl₂＋4HCl＋O₂ →4CuCl₂＋2H₂O

此方法再生反应速率很低。

氯气再生

主要的再生反应为：Cu₂Cl₂＋Cl₂ →2CuCl₂

由于氯气是强氧化剂，直接通氯气是再生的最好方法。因为它的成本低，再生速率快。但是，很难做到使氯气全部都参加反应，如有氯气溢出，会污染环境。故该法要求蚀刻设备密封。

电解再生

主要的再生反应为：

在直流电的作用下，

在阳极 Cu¹⁺ →Cu²⁺＋e

在阴极 Cu¹⁺＋e →Cu⁰

这种方法的优点是可以直接回收多余的铜，同时又使Cu¹⁺氧化成Cu²⁺，使蚀刻液再生。但是，此方法要求有电解再生的设备投资和较高的电能消耗。