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2.3 强制脱版机构 Bump印制的关键点是狭间距,如果直接在芯片上印制时,金属网板的开口部也会形成细密状的网孔,这种状态下的印刷脱版,如果还是停留在原有的结构上,对印刷成形品质肯定是不行的,另外,针对网板的拉伸张力,网板开口截面部形状,焊料的移动速度等因素,Bump的印刷原理在理论上同原来的印刷也是不一样的。目前采取的对应方式,应在印刷机上增加强制脱版机能,图六是日立印刷机的强制脱版部结构示意。
 2.4 焊料的粒子直径和网板开口壁面精度 由于Bump印制间距很小,使网板开口直径也变小,在无铅焊料印刷中,间距在180μm以下的,推荐使用平均粒径5μm 的焊料,间距在180-200μm时推荐使用平均粒径lOμm的焊料,间距200μm以上时,推荐使用平均粒径25μm焊料。一般说来网板开口直在100μm左右场合,所对应的平均粒径是开口直径的1/20左右。粒径小的无铅焊料,有时易氧化,在进入回流焊时要注意到一些不良的发生。 狭间距Bump的印制,其印刷高度同原来表面贴装的印刷略有不同,采用激光法 或电铸法加工金属网板、可能会产生加工工艺上的限制,或者是影响到焊料的充填性,这里对金属网板开口部壁面的精度要求是很高的。图七是不同加工方法做成网板的性能比较,可以看到由日立公司新开发的开孔技术司得到光洁的开口壁面,提高了印刷时的密封性。这种开口技术制成的网板,使焊料的充填性同电铸法相比可提高约20%  综前所述,利用印刷法制作狭间距的Bump技术,对生产环境、生产成本、设备等都是有利的,且具备相应的安全性。图八中的左是间距150μm焊料印刷后采用强制脱版后的印刷状态。该公司曾使用网板厚50μm,开口直径100μm,焊料粒径5μm的印刷工艺,取得了良好的效果。图八中的右是在晶圆芯片上,经焊料印刷、回流做成间距100μm的Bump状态。
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